2020.09.17 【新技術】SiC中の電気特性分布、3μmの分解能で測定名古屋工大の研究グループが技術確立

[図1]高い空間分解能でSiCの電気特性を測定する装置の概念図

 名古屋工業大学大学院工学研究科の加藤正史准教授の研究グループは、富士電機、電力中央研究所、昭和電工および産業技術総合研究所の研究グループと協力して、SiC中の電気特性の微細な分布を3マイクロメートルという世界最高の空間分解能で測定する技術を確立し、装置を開発した。この測定技術はSiCパワーデバイス内部の構造が、設計通りに作製されているかの可視化を容易にし、SiCパワーデバイスの高性能化につながる。

twitter facebook line
匠が語るバックナンバー
お知らせ

日頃より電波新聞をご購読いただき誠にありがとうございます。

先般ご案内させていただいていた通り、電波新聞は9月30日をもって紙による日刊紙の発行を終了し、10月からは「週刊電波新聞」を発行するとともに、日々のニュースは「電波新聞デジタル」で発信してまいります。

これに伴いまして、日刊電波新聞につきましては、新規のご購読受付を8月29日をもちまして終了させていただきます。なお、ばら売りのバックナンバーにつきましてはこれまで通りご提供をさせていただきます。 詳細はこちらをご覧ください。

【電波新聞リニューアル!先行申込キャンペーンについて】 
2025年9月末までに、10月以降の購読のお申し込みを頂いたお客様に限り、『電波新聞デジタル』及び『週刊電波新聞』が読めるスタンダードプランが最大3か月無料になるキャンペーンを実施しております。

電波新聞リニューアル!先行申込キャンペーンの詳細はこちら
https://dempa-digital.com/renewal/