2020.10.15 【新技術】半導体新しい積層型ロジックLSI設計法の提案 湘南工科大 平面型Ｔｒ微細化の限界克服
従来の平面型トランジスタが微細化の限界に達している。そのためそれを用いたロジックLSIの高速化、低電力化、低コスト化が困難になっている。低コストなメモリーを実現するため縦方向に縦型トランジスタSGT（Surrounding Gate Transistor）を直列接続する積層構造の3次元型NANDフラッシュメモリーが提案されている。また低コストのロジックLSIを実現するため積層型Fe-FET（強誘電体型FET）が提案されている。これらの提案では低コ... (つづく)
