2021.01.06 半導体故障解析装置の新型販売浜松ホトニクス
半導体故障解析装置「PHEMOS-X C15765-01」
浜松ホトニクスは、独自の光学設計技術を応用した多波長対応のレーザースキャナを搭載することで、可視光から近赤外光までの波長の光での故障解析を1台で行える半導体故障解析装置「PHEMOS（フィーモス）-X C15765-01」を、4月から販売を開始する。価格（税別）は3680万円。
可視光から近赤外光までの出力波長が異なるレーザーを5種類まで搭載でき、1台で故障箇所を高感度、高分解能で推定できる半導体故障解析装置。
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