2021.04.07 高精細FPD向けプラズマエッチング装置東京エレクトロンが販売

「Impressio 1800 PICP Pro」

　東京エレクトロンは、第6世代（1500×1850ミリメートル）ガラス基板対応プラズマエッチング装置を拡充。パネル基板上に均一な高密度プラズマを生成するプラズマモジュールである高精細プロセス向けに、新チャンバー「PICP Pro」を搭載した「Impressio 1800 PICP Pro」と「Betelex 1800 PICP Pro」の販売を開始する。

　第6世代、スマートフォン向けを中心としたディスプレーは、高精細OLED（...　　(つづく)