2021.06.11 【支える半導体製造】理研計器前工程各所でガス検知 毒性、可燃性複数種に対応
次世代半導体工場向けガス検知部「GD-84D」
理研計器の2021年3月期決算は半導体工場や、半導体製造装置メーカー向けが好調で増収増益を遂げた。
半導体製造で用いられるさまざまなガスを検知する定置型の警報器「ガス検知部GD-70D」は、ホスフィンやジボラン、シランなどの毒性ガスや可燃性ガスを検知する。内蔵ポンプで気体を吸引、センサーで測定する。
毒性ガスは、作業員が有害物質に暴露されても健康上の悪影響を及ぼさない許容濃度が定められている。
... (つづく)
