2021.09.27 長野計器 圧力センサー極微差圧 高精度で検知半導体製造で活用
半導体製造プロセスでは、多様なガスや薬液を使用し、良品確保には製造各所での精緻な計測・評価が欠かせない。長野計器は圧力センサーの専業メーカー。気体や液体の圧力管理で装置やバルブメーカー、ガス供給会社など幅広く採用されている。
長野計器の強みは、低圧から高圧まで用途に応じたさまざまなセンサーを持つ点だ。
低圧領域の計測には、電荷を蓄えられる量（キャパシタンス）の変化を検出する静電容量方式を用いたセンサー素... (つづく)
