2019.11.21 【新技術】フレキシブル基板上に形成したトンネル磁気抵抗素子が硬い半導体基板上に形成した素子の性能に匹敵　大阪大、東京大、村田製作所が共同で実証

（図1）柔らかいプラスチック基板（フレキシブル基板）上に形成したトンネル磁気抵抗素子の写真（左下・右上）と概略図（中央）

概　　要　

　硬い半導体シリコン（Si）基板上に形成されてきたトンネル磁気抵抗素子は、ハードディスクの読み取りヘッドや固体磁気メモリー

※1として広く利用されてきた。

　今回、大阪大学産業科学研究所の千葉大地教授と関谷毅教授は、東京大学大学院工学系研究科博士課程3年（兼大阪大学産業科学研究所特別研究学生）の太田進也氏、村田製作所の安藤陽氏らと共同で、柔らかいプラスチック基...　　(つづく)