三菱電機が、熊本県菊池市に建設するパワーデバイス製作所のSiC（炭化ケイ素）8インチウエハー新工場の起工式を13日に実施した。稼働時期は2026年を予定する。新工場により、熊本県合志市の工場で生産しているSiC6インチウエハーと合わせ、SiCウエハー生産能力を26年度には22年度比で約5倍に拡大する計画だ。

　新工場は6階建て延床面積4万2092.59平方メートルの規模。建築面積は9849.83平方メートル。

　全工程に自動搬送システムを導入し、徹底した自動化により生産効率の高いラインを実現。クリーンルームは、生産装置や付帯設備の排熱を回収・再利用するなどで、従来空調方式の約30％の省エネにもつなげている。

　起工式で同社の竹見政義上席執行役員半導体・デバイス事業本部長は、「新工場は、SiC半導体ウエハーの大口径化に対応するとともに、徹底した自動化により高い生産効率を実現する。極めて高い省エネルギー性能のクリーンルームを導入することで、環境に優しい最先端SiC半導体ウエハー工場になる」と述べた。

（15日付電波新聞／電波新聞デジタルで詳報します）