2020.05.19 住友化学、大阪工場に新棟建設　最先端プロセス半導体フォトレジスト開発・評価体制強化

　住友化学は、EUV（極端紫外線）などの最先端プロセス向け半導体フォトレジストの開発・評価体制強化のため、大阪工場（大阪市此花区）に新棟を建設するとともに、新規評価装置を導入する。22年度上期の完成を目指す。

　フォトレジストは、半導体製造工程でのパターン形成に使用される感光性樹脂。同社はこれまで、高機能フォトレジスト原料の設計や量産化技術に加え、製造・研究・販売の大阪工場構内集約によるタイムリーな顧客対応力などを生かし、フォト...　　(つづく)