2025.10.15 470億円投じ熊本に新開発棟 東京エレクトロン

新開発棟の外観(出典:東京エレクトロン)

 東京エレクトロン(TEL)子会社である東京エレクトロン九州(熊本県合志市)は15日、新開発棟(プロセス開発棟)の竣工(しゅんこう)式を開いた。11月から段階的に稼働し、来年春から本格稼働する見込みだ。

 投資額は約470億円。建築面積約9800㎡、延べ床面積約2万7000㎡で、2023年10月に着工した。クリーンルーム面積を従来から2倍に拡張し、開発能力を約4倍に高める。コーター/デベロッパー装置と洗浄装置の開発を行う。将来的には成膜やエッチングの装置も設置する計画だ。

 林伸一社長は「チャレンジを続け、全装置で世界ナンバーワンを目指す。熊本から世界最先端の技術を提供し、社会の発展に貢献する」と述べた。