2026.08.27 キヤノン、FPD装置にLED光源　水銀フリーで照度4割以上アップ　省エネ対応も

新型FPD露光装置「MPAsp-H1003H」（出所＝キヤノン）

　キヤノンは、フラットパネルディスプレー（FPD）製造に欠かせない露光装置向けに、水銀ランプでなくLEDを採用した光源ユニットを開発した。競合のニコンも2025年にLED光源採用を発表しており、業界全体で同技術による性能向上、消費電力低減、環境対応を図る動きが鮮明だ。

　キヤノンは、7月に新型FPD露光装置「MPAsp-H1003H」を発売した。大型テレビなど向けのFPDを切り出すのに適した2200×2500mmサイズの第8世代...　　(つづく)