2026.09.08 リガク、ナノスケールX線顕微鏡を投入　電池や半導体デバイスなどの高度な解析を支援

ナノスケールX線顕微鏡「CT Lab HR160」

　リガクは、電池や半導体デバイス、電子部品、先端材料の解析を支えるナノスケールX線顕微鏡 「CT Lab HR160」を発売した。X線イノベーションをグローバルに提供するスウェーデンのExcillumとの協業による製品で、試料内部の微細構造を可視化する。

　リガクのX線CT（コンピューター断層撮影）イメージング技術にExcillum製のX線源「NanoTube N3」を組み合わせることで、最大160キロボルト（kV）の管電圧と業...　　(つづく)