2020.12.04 日立ハイテクが欠陥形状評価SEM販売半導体デバイス品質信頼性確保に対応

欠陥形状評価SEM「CT1000］

　日立ハイテクは、半導体デバイスの欠陥観察に必要な欠陥形状評価SEM（走査型電子顕微鏡）「CT1000」を12月から販売開始する。

　近年のIoT・車載デバイス市場では、より高品質で安全性と信頼性の高い3次元構造の半導体デバイスが必要とされ、全数検査による良品選別が積極的に取り組まれるようになっている。

　同社は15年にIoT・車載デバイス市場向けの高分解能FEB（電解放出方式による電子ビーム）測長装置「CS...　　(つづく)