2020.12.25 ディスプレイTFT配線用スパッタリングターゲット三菱マテリアル、可視光を低反射化
DIABLAの外観
三菱マテリアルは、ディスプレイTFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット「DIABLA（ディアブラ）」を開発し、量産を開始する。
スパッタリングターゲットは、対象とする電子基板に原子レベルで合金や金属酸化物などの物質を付着させ、薄い膜を形成するための電子材料。
そのうち、黒化膜用スパッタリングターゲットは、有機ELや液晶パネルのTFT配線上への成膜によって配線を黒化し、TFT配線の可視光反射率を下げる（... (つづく)
