2020.12.28 枚葉式洗浄装置とウエハー裏面洗浄装置SCREENセミコンダクターソリューションズ

スクラバ方式枚葉式洗浄装置SS-3300S

　SCREENセミコンダクターソリューションズは、最大1000枚／時の処理能力と安定したプロセス処理性能を両立させ、業界最高レベルの生産性を実現したスクラバ方式の枚葉式洗浄装置「SS-3300S」と、業界初の液薬洗浄とブラシ洗浄の機能を併せ持つウエハー裏面洗浄装置「SB-3300」の販売を開始した。

　SS-3300Sは、スクラバ方式枚様式洗浄装置に業界で初めての最大16チャンバを搭載できる新プラットフォームを採用。デュアル搬送...　　(つづく)