2021.01.22 東京エレクトロンがプラットフォーム販売次世代エッチング装置向け
次世代エッチング装置向けプラットフォーム「Episode UL」
東京エレクトロンは、次世代エッチング装置向けプラットフォーム「Episode UL」の販売を開始する。
Episode ULは、フレキシブルなチャンバ数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、Smart化を備えた顧客の生産性向上に貢献するプラットフォーム。
顧客のFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバから12チャンバまで、フレキシブルに搭載チャンバ数を選択することが可能。最... (つづく)
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