2021.01.22 東京エレクトロンがプラットフォーム販売次世代エッチング装置向け

次世代エッチング装置向けプラットフォーム「Episode UL」

　東京エレクトロンは、次世代エッチング装置向けプラットフォーム「Episode UL」の販売を開始する。

　Episode ULは、フレキシブルなチャンバ数の選択を可能とし、省スペース化、メンテナンス性向上、Smart化を備えた顧客の生産性向上に貢献するプラットフォーム。

　顧客のFabレイアウトへの柔軟な対応を実現するため、4チャンバから12チャンバまで、フレキシブルに搭載チャンバ数を選択することが可能。最...　　(つづく)