2021.02.17 韓国で高性能MFCを量産へ堀場エステック・コリア

龍仁市の堀場エステック・コリア本社

 堀場エステックの韓国子会社、堀場エステック・コリアが21年6月から現地生産拠点で高性能マスフローコントローラ(MFC)「D500」シリーズの量産を開始する。

 MFCは半導体の成膜やエッチングプロセスにおいて様々なガスの質量流量を計測し、制御を行う機器。韓国国内でこれを生産することにより、サムスン電子やSKハイニックスなどの半導体大手にジャストインタイムでの供給が可能になるだけでなく、従来より納期を半分以下に短縮できる。  (つづく)