2021.08.04 蘭のimec-ASMラボに塗布現像装置導入東京エレクトロン

東京エレクトロンの塗布現像装置

　東京エレクトロンは、オランダの「imec-ASML joint high NA EUV research laboratory」（imec-ASML共同高NA　EUV研究所＝高NAラボ）に、2023年から稼働予定の次世代高NA　EUV露光装置ASML　EXE：5000（開口数NA＝0.55）にインラインする塗布現像装置を導入する。

　imecは、ナノエレクトロニクスやデジタル技術で世界をリードする研究センター。imecが持つ最...　　(つづく)