2021.12.14 電子デバイス専用クラスター装置を販売開始サムコ、セミコンジャパンでPR
サムコの装置「クラスターH」
製造装置メーカーのサムコは13日、電子デバイス専用のクラスター装置「クラスターH」を販売開始した。15日から東京ビッグサイトで開催の「セミコンジャパン」で、大型モニターを通じてPRする。
同社によると、電子デバイスにはシリコン以外にGaAs（ガリウムヒ素）など多種多様な材料が用いられており、これまで電子デバイス専用の生産装置はなかった。
元来、非シリコン系の材料加工分野に実績のある同社は今回、電子デバイ... (つづく)
