2021.12.22 クラボウが半導体製造の耐熱フィルム開発薬液濃度を高精度に計測
温調機能を備えた薬液濃度計の最高機種「Ace-3」
クラボウは、半導体製造の各プロセスに向けた製品のラインアップを強化している。このほど開催された「セミコンジャパン」で計測器や、高機能フィルムの新製品を出展した。
半導体製造での洗浄工程では、微量な不純物を取り除くため多様な薬液を用いる。製品の高信頼性の実現には薬液の精緻な管理が必要になる。
クラボウの「ケミカライザー」は、近赤外線を使った光吸収式の薬液濃度計。新製品の「Ace-3」はフラッグシップモデル... (つづく)
