三菱電線工業は、耐ラジカル性と低パーティクル化により長寿命を実現した高機能フッ素ゴムシール製品「サンエラストEシリーズ」を開発し、販売を開始した。
半導体製造においては、3D-NANDに代表されるようにウエハーを高アスペクト比にエッチングすることが求められるようになった。そのため、エッチング装置の高出力化が進み、装置自体のプラズマ環境がより過酷なものとなり、その結果、エッチング装置内のシール部品の消耗が早く進んでしまうという... (つづく)
続きは無料会員登録することで
ご覧いただけます。
電波新聞は2024年4月から、祝日を休刊します。これまで日刊紙として土曜、日曜と月1回の新聞休刊日以外の毎日発行してきました。しかし、読者の働き方の変化など、より平日に情報収集する流れになってきていることを受けて祝日は休刊することにしました。
4月以降は電波新聞デジタルでの情報発信を強化するとともに、紙面内容も充実させ、いっそう質の高い報道に努めてまいります。なお、元日付はこれまで通り発行いたします。
昨今の輸送コストの増加などもありますが、購読料は月ぎめ定価5,143円（税込み）のままとし、月間発行回数が減ることから1部売り定価は292円（税込み）に変更します。引き続きのご愛読をよろしくお願いいたします。電波新聞社
【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
