2023.11.15 アルバック、CVDプロセスを管理　半導体向けガス分析計を開発

プロセスガスモニター「Qulee RGM2-201F」

　アルバックは、ガス分析計（プロセスガスモニター）の「Quleeシリーズ」で、半導体のプロセス管理用としてCVDやエッチング向けの新製品を開発した。

　「RGM2-201F」はCVDやエッチング、ALD向けガス分析装置として、大幅な小型化を目指した。

　スパッター装置ではガス分析計を用いたプロセス管理が一般的。だが、計測技術部AE課の白数祐輔アプリケーションエンジニアによると、「さらにプロセスの難易度が高いC...　　(つづく)