2023.12.13 【セミコンジャパン特集】フェローテックグループ 「チラー」など初出展製品を多数展示

セラミックス製品

 フェローテックグループは、フェローテックホールディングス(フェローテックHD)、フェローテックマテリアルテクノロジーズ(フェローテックMT)、大泉製作所、コスモ・サイエンスの共同で「セミコンジャパン2023」に出展する。

 加えて、半導体製造関連業界に興味を持つ大学生・大学院生を対象に同時開催される「未来College@SEMICON」にも出展し、学生への同社グループ紹介も行う。

 1980年創業のフェローテックHDを親会社とするフェローテックグループは、半導体や自動車、バイオ、民生機器など、さまざまな産業の顧客の部品を供給してきた、日本を中心に北米と欧州、中国、東南アジアなどでグローバルに事業を展開する。

 ブースでは、大泉製作所の「サーミスタ」の各種製品展示、コスモ・サイエンスの「クラスター型有機EL成膜装置」「対向スパッタ装置」の部品展示による紹介、フェローテックMTが今年販売開始した「FerroCool(チラー)」など、セミコンジャパン初出展製品を多数紹介する。

 同社グループの従来製品も、半導体製造装置向けマテリアル部材の「石英」「セラミックス」「CVD-SiC」を筆頭に、コア製品として世界トップシェアを維持する磁性流体を応用した「真空シール」、精密な温度管理が可能で、自動車や家電、通信、医療など幅広い分野で採用されている「サーモモジュール」などを展示し、グループのラインアップの広さをアピールする。

 同社グループは、半導体製造装置市場の中長期の成長に対応するため、現在石川エリアで「セラミックス」の生産能力を増強中(第2工場を2022年11月竣工〈しゅんこう〉、第3工場を24年中に竣工予定)。同様に「CVD-SiC」も岡山工場で生産能力を拡大するほか、熊本県大津町に新拠点を構築する(24年中に竣工予定、展開事業は「石英」「装置部品洗浄」)。