日本電子は、新型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡「JSM-IT810」を出品する。

　電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）は研究機関や大学、産業界など科学技術分野で幅広く活用されている。近年は観察から分析までを簡単に正確、短時間で効率よく使用できる装置の需要が高まっている。

　そうした需要に応えたJSM-IT810は7月から販売を開始した新製品。操作GUI（グラフィカルユーザーインターフェース）「SEM Center」を搭載。次世代型電子光学制御システム「Neo Engine」、ホルダーグラフィックや光学像とSEM像が連動する機能「Zeromag」、EDS（元素マッピング）インテグレーションなどの高い操作性を実現する。

　新製品は①自動観察・分析機能「Neo Action」②SEM自動調整パッケージ③Live機能④EDSインテグレーション--が特長で、効率性や生産性の向上に加え、労働力不足の解消にも貢献する。

　Neo Actionは、SEM像の取得条件と視野の選択を行うだけでSEM観察とEDS分析を自動化。

　SEM自動調整パッケージは、アライメントや倍率の調整、EDSエネルギー校正の任意項目の自動実行を可能とする。

　Live機能は、Live3D（3次元）、Live Analysis、Live Map機能を有し、SEM観察をしながらその場で3D像を構築して凹凸や深さの情報が得られる。常に特性X線スペクトルや元素マップを表示することもできる。

　EDSインテグレーションは、SEMによる観察とEDSによる分析を統合。観察画面上から点、エリア、マップなどの分析を行える。