2024.09.19 半導体製造、ウエハー仮固定で新技術　レゾナック

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キセノン光照射による仮固定プロセスのイメージ

キセノン光照射による仮固定プロセスのイメージ

仮固定フィルム除去の様子
レーザーとキセノン光照射のイメージ
キセノン光照射による仮固定プロセスのイメージ

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