2024.12.11 【セミコンジャパン2024特集】安川電機 ウエハー搬送用クリーンロボ実演
ウエハー搬送用ロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」
安川電機は、低振動・ノンストレスのウエハー搬送用クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」とリニアサーボドライブ「Σ-Ⅹシリーズ」による走行軸を組み合わせた実演機を中心に展示を行う。
半導体の技術革新は、製造プロセスにおけるナノメートルレベルの微細化技術や多層化技術により成り立っていて、この進化に貢献するウエハー搬送用のクリーンロボットへの要求が高まっている。SEMISTAR-GEKKO MD124Dは、従来機種より高精度(位置決め精度が従来比2倍)で、低振動(従来機種比=6分の1)である半導体ウエハー搬送を実現。
例えば、指定する位置に高精度でウエハーを運びたい、ウエハーにストレスをかけずに今までと同じ搬送枚数を安全に搬送したい、多数のウエハーを収納するために狭いピッチの場所にもウエハーを搬送したいといった顧客からの要望に応える製品となる。
従来製品の「MP3000シリーズ」の後継機種として開発された「MPX1000シリーズ」の新型マシンコントローラー「MPX1310」を出展、高速モーションスキャンと高精度な軌跡制御の実演を行う。
MPX1310は、従来機種からモーション処理性能が8倍となり、MECHATROLINK-4を2回線備え、制御可能軸数が16軸から128軸に増えるなど、大幅な機能向上を実現している。
また、複数の機構の処理を別々のCPUコアに割り付けて並列処理を行う分散制御が可能で、処理負荷が軽減されて各機構で高速な処理ができる。
これまでの自動化ソリューションにデジタルデータのマネジメントを加えた新たなソリューションコンセプト「i³-Mechatronics(アイキューブ メカトロニクス)」の実現に向けて開発したYRMコントローラー「YRM1010」も実演する。