THKは、機械の直線運動部の転がり化を独自の発想と技術で「LMガイド」として世界で初めて製品化した機械部品メーカー。セミコンジャパン2024では、機械要素部品やIoTサービスなどを出展する。

　注目の展示として、主力製品のLMガイドに新たにラインアップした「高加減速対応・低摺動（ていしょうどう） ミニチュアLMガイド」を紹介。半導体チップの生産能力の向上に役立つ高加減速に対応した性能を持つLMガイドとして、半導体製造や機械工作業界からの要望に対応する。

　新開発したボール循環部品を採用し、最高速度5m／s、最高加減速度300m／2sの性能で高強度と強靱化（きょうじんか）に取り組んだ。生産性の向上が要求される半導体装置の中でも、特にダイホンダーやテストハンドラーといった半導体の後工程設備、チップマウンターなどの主軸案内部の使用に適している。

　ISO規格に準拠した世界標準の寸法に対応する「超低ウェービングボールリテーナ入りLMガイド（SPH形）」も展示。測定精度などの向上やナノメートルオーダーの運動精度が求められる分野への対応に期待がかかる製品だ。

　8条列構造と小径ボールを採用することで、直動案内の中でもトップレベルの超低ウェービングを実現した。

　従来製品は、同社独自の寸法を採用したことで、適用範囲が一部の装置の案内部などで限定的だった。

　SPH形は、既存製品からの置き換えが可能。4方向等荷重で、あらゆる姿勢での使用が可能なため、半導体・液晶装置関連のほか、工作機械などにも対応する。

　このほか、搬送ロボット「SIGNAS」やピック＆プレースロボット「PPR」のデモの実施や、後付けIoTで部品の故障対応やメンテナンスなどの困り事を解決するソリューション「OMNIedge」なども展示する。