2024.12.11 【セミコンジャパン2024特集】理研計器 半導体工場向けガス検知器など展示

マルチ毒性ガス検知器「SC-9000」

 理研計器は「ガスの検知で共に歩む未来」をテーマに出展する。

 ポータブル型マルチ毒性ガス検知器「SC-9000」は「現場で最も役立つガス検知器」を目指して開発された。半導体工場などで使われる毒性ガスを1台で最大3種類まで同時に検知可能だ。

 検知対象ガスは15種類。半導体製造工程のケースでは、ドライエッチング(想定ガス=塩素)、シリコン窒化膜の形成(モノシラン、アンモニア)、CVD装置(モノシラン、アンモニア、フッ化水素)などの用途に対応する。

 ブルートゥース通信機能を搭載しており、専用アプリを介してスマートフォンやタブレットなどの端末に測定結果を記録できる。

 記録データはメールで送信でき、ワンタッチで測定データを保存するスナップログボタン、警報時メール送信機能も備えている。警報点はユーザーが任意に設定することができる。

 防爆性能が高い本質安全防爆構造を採用。防じん・防水(保護等級IP66/68相当)を施し、1.5メートルの落下試験もクリアしている。

 ポータブル型ガスリーク検知器「SP-230シリーズ」は、従来機種に堅ろう性と使いやすさを加えた。表示機能を進化させ、暗所での視認性が向上。ワンプッシュ・片手操作でLEDライト切り替え、ブザーボタン、警報点切り替えなど多くの機能にアクセスできる。

 保護等級はIP67相当で、落下試験は2メートルをクリア。検知対象に応じて半導体ガス、フロンガス、水素ガス、燻蒸(くんじょう)ガスの四つの仕様をラインアップする。

 次世代半導体工場向けガス検知器「GD-84Dシリーズ」は、4台分(4成分)の検知器を1台に集約したもの。

 サイズを従来器の約2台分に抑え、設置スペースを削減した。配管・配線、消耗品の部品交換などのコスト削減に寄与する。