2026.03.06 JX金属、次世代半導体向けCVD・ALD材料を量産

モリブデン化合物(出所=JX金属)

 非鉄金属大手のJX金属は、次世代半導体製造に使う化学気相成長法(CVD)、原子層堆積法(ALD)用プリカーサー(前駆体)材料の量産ラインを立ち上げた。既に顧客へ出荷開始している。

 生成人工知能(AI)の進化やデータセンターの増設を背景に、演算を担う高性能なロジック半導体や、電気が切れてもデータを保持する2次記憶を担う3次元積層型メモリー半導体3D-NAND、通電中だけデータを保持し高速で読み書きできる1次記憶を担う広帯域幅メ...  (つづく)