セントラル硝子はこのほど、顧客の量産採用、今後の需要拡大に向けて、宇部工場（山口県宇部市）で、半導体向けエッチングガスCEG34Eの量産を開始した。

高積層化

　CEG34Eは、高積層化が進む次世代3D NAND Flash向けに開発された新しいプラズマエッチングガス。

　保有する特性は、先端世代の3D NAND Flashのメモリーホールの深掘りエッチング用途として優れた性能を発揮し、高積層3D NAND Flashの技術革新にも貢献する。

環境適応型

　また、同製品は低GWPガスでもあり、GHG（温室効果ガス）排出量の削減にも大きく寄与する。　

　同社は今後も、新たに開発した複数の環境適応型のエッチングガスをAI（人工知能）向け半導体製造用途として上市の予定だ。