2024.09.27 i線光源利用の半導体露光装置、キヤノンが新製品

i線露光装置「FPA-3030i6」

レンズ開発、小型基板向け

　キヤノンは、半導体露光装置の新製品「FPA-3030ⅰ6」を24日に発売した。これは波長365ナノメートルのⅰ線の光源を利用した装置で新開発の投影レンズを搭載。収差（理想的な結像からのズレ）を抑え、露光時間の短縮により生産性を向上させる。新製品は200ミリメートル以下の小型基板向け。

　FPA-303...　　(つづく)