2025.02.13 東大とJSR、半導体露光プロセスのみで平面レンズ作製

半導体露光プロセスのみで作製した平面レンズと集光の様子

　東京大学大学院理学系研究科の小西邦昭准教授、山田涼平特任研究員（当時）らと、JSRの岸田寛之氏らによる研究グループは、半導体露光プロセスのみを用いて可視光の平面レンズを大量生産可能な手法の開発に成功した。

　光学レンズは長らく研磨技術で作製されてきたが、近年、光の波長と同程度以下の大きさのサブミクロン構造を用いてレンズの機能を実現するメタレンズなどの新しい平面レンズが注目されている。

　今回、半導体露光プロ...　　(つづく)