2026.10.19 【半導体製造装置特集】岡谷電機産業 高SCCR値のサージ・ノイズ対策製品
サージプロテクター(左側2製品)とノイズフィルター
岡谷電機産業は、グローバル市場向け半導体製造装置の雷害対策やノイズ対策に向け、高い短絡電流定格(SCCR)値を実現した製品を展開している。落雷などで短期間に生じる異常な大電流、サージから装置を保護するAC電源用サージプロテクター(SPD)、電源を通じて伝わる電磁ノイズの影響を抑えるノイズフィルターをそろえる。
人工知能(AI)やデータセンターの隆盛、自動車の電動化などを背景に、半導体製造工場の新設、増強も進み装置需要も拡大している。一方で装置の停止、誤動作は生産ライン全体に影響する恐れがあるため、装置設計におけるノイズ対策、サージ対策の必要性はますます高まっている。加えてグローバル市場に展開する装置は各種規格を考慮した設計も課題だ。
特に各装置や制御盤が耐えられる限界の短絡電流値であるSCCR値は、短絡電流による機器の火災発生を防ぐため、北米に出荷する産業用制御盤向け規格で重要となる。米国の第三者安全科学機関であるULによるUL508Aが表示を義務付けるほか、半導体に関する国際団体であるSEMIによる装置向け規格SEMI S22でも要求がある。
岡谷電機がグローバル市場向け半導体製造装置に適したSPDとして展開する「XD」シリーズは、故障時に短絡防止を目的として電源回路から安全に分離する分離器、故障状態を表示するフェールセーフ機能を搭載。ULによるUL1449など、SPD向けの各種安全規格を取得している。本体寸法(取り付け部を除く)は34.5×37.5×30.0mmとなっており、UL1449に基づくSCCR-
10kA(UL Type2CA)の条件に対応したSPDとして従来にない小型、軽量化を実現している。
ノイズフィルターでは「3SUP□□−E□」「3SUP□−B□」「3SUP□−C□」といった各シリーズを投入。三相(定格電流~400A)/単相(定格電流~60A)を用意。形状としては低背タイプ、縦型タイプをそろえている。












