2021.08.09 【支える半導体製造 材料編】JSR、フォトレジストに注力

オレゴンの工場(同社サイトから)

 JSRは、かねて培ってきた高分子技術を生かし、半導体の回路形成の過程で使われるフォトレジストや、多層配線の形成に不可欠なCMP(化学的機械的研磨)用の材料などに対応している。需要拡大を踏まえて生産体制強化も進めている。

 「いち早くグローバル展開を進めてきた。サプライチェーンを含めた、総合的な力が強み」という。最先端では、7ナノメートルや5ナノメートルのさらに先である3ナノメートルなどの技術確立が進み、回路の微細化が一層進展す...  (つづく)