クラボウは、半導体製造プロセスの様々な製造工程で使用される高機能フィルム、樹脂加工品、フィルターを紹介する。

　高機能フィルムは、ウエハーダイシングテープ用基材フィルム、高耐熱フィルムを出品。ウエハーダイシングテープ用基材フィルムは、ヒートシュリンク性・エキスパンド性に優れたオレフィンタイプおよび、150度で寸法変化の少ない高耐熱性・エキスパンド性に優れたポリエステルタイプの2種類を展示する。

　高耐熱フィルムは、ポリスチレンフィルム「Oidys（オイディス）」、ポリエーテルエーテルケトン（PEEK）系フィルム「EXPEEK（エクスピーク）」、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）を使用したフッ素フィルム「KURANFLON（クランフロン）-F」を紹介。

　オイディスとエクスピークは独自の高温二軸延伸でフィルム化し、耐熱性、低誘電性、低吸水性を実現した。オイディスは200度以上の耐熱性、耐加水分解性があり、エクスピークはTg320度の高耐熱性を達成。全光線透過率8.3％、ヘーズ4％と透明性に優れている。

　クランフロン-Fは融点が高く、連続使用温度260度の耐熱性を持つ。高温および、高濃度の酸、アルカリに不活性で、溶剤にも不溶。

　樹脂加工品は開発拠点の熊本事業所を中心に、多様な樹脂材料での加工技術に対応し、最先端の超砥粒加工や高精度の微細穴加工、薄膜加工、鏡面のような切削鏡面加工を実現。高難度のベローズ品（材料PTFE）の加工も可能だ。

　フィルターは微量金属イオンを除去できる薬液用フィルター「KURANGRAFT（クラングラフト）」を出品。グラフト重合法を適用し、溶出成分の極めて少ない基材に種々の液中金属イオンの捕集機能を付与した。10ppb以上の高濃度溶液をpptレベルまで除去できるほか、有機溶媒、高流量にも対応する。

【セミコンジャパン2019特集】目次

●SMARTアプリケーションの総合展　きょうから東京ビッグサイトで
●半導体世界市場　19年、メモリー中心に低迷続く　20年は5Gなど牽引で回復予想
●東京ウエルズ　IoTデバイスのファイナルプロセスを紹介
●レーザーテック　アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置など検査技術を訴求
●THK　LMガイドや新IoTサービスを紹介
●クラボウ　ウエハーダイシングテープ用基材フィルムなど出品
●新コスモス電機　一点式ガス検知警報器など出展