2022.05.23 GaN関連基板とエピタキシャル膜製品信越化学が量産体制拡充 エネルギー効率向上に貢献

 信越化学工業は、窒化ガリウム(GaN)関連基板およびエピタキシャル膜製品の事業化に向け、量産体制を拡充する。次世代パワー半導体として今後の需要増大が期待されるGaNへの投資を進めることで、エネルギー効率向上への貢献を目指す。

 同社は、2019年に米Qromis社(カリフォルニア州)との間で、高品質で反りが小さいGaN成膜が可能な基板材料(QST基板)のライセンス契約を締結した。

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