2020.02.21 三菱ガス化学が超純過水事業を強化　台湾に工薬過水製造設備建設

　三菱ガス化学は、半導体デバイスの製造工程で使用される超純過酸化水素（超純過水）事業への取り組みを強化している。その一環として、台中市の台湾子会社・巨菱精密化學股份有限公司における工業用過酸化水素（工薬過水）製造設備を建設する。設備投資額は、47億台湾ドル。生産量は、4万トン／年（100％濃度換算）で23年1月に稼働する。

　超純過水は主に半導体のウエハーやデバイスの製造工程で、洗浄、エッチング、研磨剤として使用するもの。今後、...　　(つづく)