半導前工程で使用するドライエッチング装置大手の米ラムリサーチはこのほど、EUV（極端紫外線）露光のパターニング向けにドライレジスト技術を発表した。
同社はオランダの露光装置メーカーやベルギーの独立系研究機関IMECとの戦略的提携を通じて、EUV露光の分解能、生産性と歩留まりの向上に役立つ新たなドライレジスト技術を開発している。そのソリューション群は、EUVの感度と分解能の大幅な利点を提供することで、個々のEUVウエハー処理の... (つづく)
電波新聞は2024年4月から、祝日を休刊します。これまで日刊紙として土曜、日曜と月1回の新聞休刊日以外の毎日発行してきました。しかし、読者の働き方の変化など、より平日に情報収集する流れになってきていることを受けて祝日は休刊することにしました。
4月以降は電波新聞デジタルでの情報発信を強化するとともに、紙面内容も充実させ、いっそう質の高い報道に努めてまいります。なお、元日付はこれまで通り発行いたします。
昨今の輸送コストの増加などもありますが、購読料は月ぎめ定価5,143円（税込み）のままとし、月間発行回数が減ることから1部売り定価は292円（税込み）に変更します。引き続きのご愛読をよろしくお願いいたします。電波新聞社
【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
