2024.01.22 前川製作所と伸和コントロールズがチラーを共同開発 エッチング工程用、自然冷媒でマイナス70度達成
共同開発したチラー
前川製作所（東京都江東区）と伸和コントロールズ（川崎市麻生区）は、自然冷媒で冷却温度マイナス70度、冷却能力9kWの精密液体温調装置（チラー）を共同開発した。従来に比べて30％の省エネを実現。実地検証を実施し、半導体製造プロセスではエッチング工程用チラーとして販売する方針だ。
共同開発したチラーの製品名は「Oberon（オベロン）」。半導体製造プロセス・エッチング工程の冷却用に最適なマイナス70度の超低温環境を提供する。自然... (つづく)
