2025.11.14 日立ハイテク、原子レベルで高速観察できる透過電子顕微鏡に意欲、先端半導体向け

電界放出形透過電子顕微鏡「HF5000」

　日立ハイテクは、原子レベル（サブナノメートル）オーダーの精度で試料を高速観察できる新たな透過電子顕微鏡（TEM）などの開発を本格化させている。先端半導体の製造プロセスに対応する。関連する発明「半導体の自動検査を実現する電子顕微鏡（特許第7098743号）」は発明協会が主催する2025年度の関東地方発明表彰で「文部科学大臣賞」「実施功績賞」を受賞した。

　TEMは薄い試料に電子線を照射し、透過した電子などから微細構造を観察する。...　　(つづく)