THKは、半導体製造装置などを支える多様な直動案内部品やIoTサービスを展示。製造現場を高度化・自動化するニーズが一段と高まる中、培ってきたノウハウや技術を生かした最先端のソリューションの提案力をアピールしていく。

　展示会では、産業機器の心臓部を担う主力の直動案内装置「LMガイド」を提案。見どころの一つが、半導体チップの生産性向上に役立つ「高加減速対応・低摺動（しゅうどう） ミニチュアLMガイド」だ。新開発の循環部品により高速・高加減速に対応可能なので、生産性向上が求められる半導体製造装置に最適。さらに、4方向に対して同一定格荷重になるように各ボール列が接触角45°で配置されているので、あらゆる姿勢で使用できる。

　ボールが転がる溝を8本に増量した「8条列構造」を採用しながら国際標準化機構（ISO）規格に準拠した寸法を実現した「ISO規格準拠寸法　超低ウェービング ボールリテーナ入りLMガイド」も展示。LMブロック内の有効なボール数を増やし、ナノメートル単位で波のような誤差を抑える「超低ウェービング」を実現した。高機能非磁性「THK-NM1」や｢特殊環境用LMガイド｣は、磁場環境や高温環境など特殊環境下での使用に適している。また、変種変量生産に貢献できる柔軟な高速搬送システム「次世代リニア搬送システム」も紹介する。IoTで製造業の現場を変革するニーズにも対応し、生産設備の効率性を総合的に評価する指標のOEE（設備総合効率）を最大化するプラットフォーム「OMNIedge」も訴求する。直動部品の状態を数値化し予兆を検知できる。

　会期中にセミナーも開催。19日には、ナノメートルレベルの精密機構「超精密位置決めピエゾステージ」の技術と応用事例を紹介する。高精度化・高密度化する半導体の製造工程で精密な位置調整が求められる動きを踏まえ、圧電アクチュエーターを応用した超精密位置決めピエゾステージを提案する。