堀場製作所の子会社で半導体事業を手がける堀場エステックは、研究開発拠点「京都福知山テクノロジーセンター」（京都府福知山市）に増設した新棟が稼働したと発表した。これを機に、気体流量校正設備と液体気化実験設備の処理能力をそれぞれ２倍へと拡張した。幅広い測定域での試験・校正を実現することで、最先端の半導体プロセスで求められる新材料への対応を強化する。

　同センターは、2013年にグループ初の研究開発専用施設として開設。気体の質量流量校正において国際規格「ISO/IEC 17025」認定を取得し、主力製品であるマスフローコントローラー（MFC）などの品質向上に寄与してきた。

　新棟は、24年3月に着工。延べ床面積は5642m²で、増設前比で約４倍となる。建屋は2階建て。投資総額は約40億円。従業員数は昨年12月時点で35人。28年に70人体制を調えることを目指し、段階的な増強を進める

　新棟では、気体流量校正設備の処理能力を２倍へと強化し、微小流量と大流量域での試験・校正への対応力を高めた。これにより、MFCのみならず他分野への応用拡大も見据えた。また、最先端の半導体製造プロセスに使用される新たな液体・固体材料に対応すべく、液体気化実験設備の処理能力を約2倍に強化。その他の実験エリアも拡張し、多様化するプロセスやアプリケーションへの対応力を高めた。

　さらに、先進技術の活用を推進するエンジニアリング室も新設した。高速でデジタル化されたMFCから得られる膨大な実験・稼働データを独自のデータマネジメントシステムで収集。これまで計測が難しかった領域の流量や部品の劣化度合いや寿命などを予測するデジタルツインモデルの確立を目指す。

　プラズマを発生・計測・制御する技術の研究を推進するためプラズマ実験室も開設。半導体製造装置のプロセスチャンバーのクリーニングや低ダメージプロセス開発など新たな領域への展開を図る。ほか、高度なデータマネジメント技術を活用した精緻なデジタルツインモデルの構築を推進し、MFCのさらなる高機能化、開発スピードの向上を目指す。

　新棟は、26年春の稼働に向けて隣接地で建設中の京都福知山工場とも連携。これにより、先端技術を早期に実装するシナジー（相乗効果）を引き出し、半導体事業の拡大を図る。