2026.02.18 シュマルツ、真空パッド用新素材を開発 電子・半導体部品の搬送課題を解決

新素材はウエハーを静電気放電から保護し、表面品質を維持する

 ドイツの真空機器専門メーカーの日本法人、シュマルツ(横浜市都筑区)は、真空パッド向け新素材「HT1‑ESD」を開発し、発売した。電子部品や半導体部品を吸着して運ぶ際に発生しやすい吸着跡を抑えつつ、確実なESD(静電気放電)対策を実現できるようにした。

 今回の新素材は、電子・半導体部品の搬送工程で問題となる吸着跡の発生を抑制できる。

 具体的には、カーボンやシリコンを含まないクリーンな設計により、ワーク(被加工物)表面の汚染を防止し、歩留まりを向上。ワーク表面への成分残留を極力抑えることで、材質が原因の吸着跡が発生にしにくい。

 さらに最高170℃までの耐熱性を備え、耐摩耗性にも優れている。また、シリコンオイルや導電性を付与するためのカーボンブラックを一切使用しておらず、静電気拡散性の材質を採用している。

 半導体ウエハーの表面に付着するわずかな残渣(ざんさ)や、目に見えない微小な静電気放電、さらには放電の原因となる導電性の微細なちりは、いずれも電子機器の不具合や製造プロセスの汚染を引き起こす要因となる。電子機器メーカーはこれらの課題に対応するために工程を追加し、結果としてコスト増につながるケースがあった。