2020.11.13 強誘電体薄膜の分極ベクトル情報評価東大と産総研が新手法開発に成功

　東京大学、産業技術総合研究所（産総研）の共同研究グループは、強誘電体薄膜の分極の向きや大きさなどの分極ベクトル情報を得られる新手法の開発に成功した。今後、様々な強誘電体薄膜や実際の強誘電体デバイスの分極ベクトルの非接触・非破壊評価に適用していく考え。

　従来の評価手法では実用的なデバイスの評価に十分な面積（-1平方ミリメートル）の強誘電体薄膜試料の分極ベクトル情報を評価することが難しく、強誘電体薄膜デバイスを大面積化する上で課...　　(つづく)