2020.02.06 三菱電線が耐ラジカル性に優れ長寿命高機能のフッ素ゴムシール製品

　三菱電線工業は、耐ラジカル性と低パーティクル化により長寿命を実現した高機能フッ素ゴムシール製品「サンエラストEシリーズ」を開発し、販売を開始した。

　半導体製造においては、3D-NANDに代表されるようにウエハーを高アスペクト比にエッチングすることが求められるようになった。そのため、エッチング装置の高出力化が進み、装置自体のプラズマ環境がより過酷なものとなり、その結果、エッチング装置内のシール部品の消耗が早く進んでしまうという...　　(つづく)