2026.10.30 TOTO、半導体製造装置向け部材の生産能力7割増へ　26年度比、710億円投資

豊前工場で新設する生産施設の立地イメージ

　TOTOは10月30日、半導体製造装置向け部材の生産能力を2030年度で26年度比1.7倍に拡大すると発表した。豊前工場（福岡県豊前市）、大分県中津市にある2工場に、合わせて約710億円を設備投資。人工知能（AI）で高まる先端半導体向けの旺盛な需要に応える狙いだ。

　増産するのは、シリコンウエハーを固定する「静電チャック」と、装置内部をセラミック膜で保護するAD（エアロゾルデポジション）部材。豊前工場の敷地内に、静電チャックと...　　(つづく)