2022.06.08 日立ハイテク、ウエハー欠陥を全数検査IoT、車載用半導体向け装置

ウエハー欠陥検査装置「DI2800」

　日立ハイテクは、半導体デバイスの欠陥を検査する日立暗視野式ウエハー欠陥検査装置「DI2800」を発表した。

　高速での検査が可能な暗視野式を採用。IoT分野や車載用半導体デバイスの開発・量産時の全数検査を実施するニーズに応える。

　直径200ミリメートル（8インチ）以下のウエハー上のパターン形状製造工程で発生する欠陥や、異物を高速で検出する機能を搭載した。

　光の散乱強度をシミュレーショ...　　(つづく)