2022.08.10 キヤノン、FPD露光装置の新型第8世代ガラス基板に対応

第8世代ガラス基板対応FPD露光装置「MPAsp-H1003H」

　キヤノンは、第8世代ガラス基板に対応したFPD（フラットパネルディスプレー）露光装置の新製品として、1.5マイクロメートル（L／S）の解像力とプラスマイナス0.35マイクロメートルの重ね合わせ（オーバーレイ）精度を実現した「MPAsp-H1003H」をこのほど発売した。

　高精細なディスプレー向けパネルは、第6世代（1500×1850ミリメートルサイズ）のガラス基板で量産されていたが、1枚のガラス基板からより多くのパネルが製造...　　(つづく)