フェローテックホールディングスは、1980年の設立以来、磁性流体応用製品のパイオニアとして半導体、工作機械、バイオ、民生機器などさまざまな分野に貢献してきた。事業の主力は半導体やFPDなどエレクトロニクス産業向けの製造装置用部品・消耗材の製造・販売で、グローバルに展開している。

　セミコンジャパンでの見どころは、半導体製造装置向けマテリアル部材の「石英」「セラミックス」「CVD-SiC」を筆頭に、グローバルトップシェアの磁性流体を応用した「真空シール」、温度管理が可能で自動車、家電、通信、医療など幅広い分野で採用される「サーモモジュール」など。

　セラミックスは石川エリアで生産能力を増強中で、第2工場が今年11月に完成、さらに2023年6月ごろに第3工場を着工予定。

　ファインセラミックスは、高純度・高剛性・高精度を要求される半導体製造の各プロセスに使用する部品や液晶製造装置用部品をはじめ、一般産業機械分野で使用する耐摩耗・耐熱・耐薬品用部材にも最適。

　マシナブルセラミックスは機械加工が容易で一般の超硬工具での精密加工が可能。半導体・液晶製造用部品や検査治具は少量多品種で設計から試作までのL／T短縮が要求される。精密加工・短納期の特長により、これらの分野に幅広く普及してきている。

　フェローテックグループでは熊本県大津町にも新工場用地を確保済み。