2020.03.03 JSRがInpriaに追加投資　EUVレジスト実用化に注力

JSRはこのほど、Inpria Corporationへ追加出資を行った。今回の出資は、Inpria社が同社EUVレジストの商業化への取り組みを目的に新たに募集をかけたSeries C Fundingへの参加となる。

　Inperia社は、非化学増幅型金属含有EUVレジストの開発に取り組んでおり現在、Sn（スズ）酸化物を主成分とするレジストは、学会などにおいて、EUV露光系で世界最高性能の限界解像度を達成している。
<...　　(つづく)